特許

J-GLOBAL ID：200903038493223162

レーザー超音波検査装置

発明者： 永田 泰昭
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-065107
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260163
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 検査対象に損傷を与えることなく、高いSN比で欠陥から反射又は散乱される超音波を検出する新たな手法に基づくレーザー超音波検査装置を提供する。【解決手段】 レーザー光源10から発せられたレーザービーム11は、ビームセパレータ12で例えば10本の平行なレーザービームに分割される。分割されたそれぞれのレーザービームは、少なくともこのビーム数と同数チャンネルを有するマルチチャンネル音響光学素子13のそれぞれのチャンネルに入射する。各チャンネルから出射したレーザービームはビームエキスパンダ14に入射し、横方向に引き伸ばされて進行方向に垂直な断面が略直線のビームとされる。このビームは鋼材16の表面に直線状にラインフォーカスされ、且つこれらの直線状の照射ラインが互いに平行となるように照射される。

請求項（抜粋）：

励起用レーザー光源と、前記励起用レーザー光源より発せられたレーザービームを複数のレーザービームとするビーム分割手段と、少なくとも前記複数のレーザービームと同数のチャンネルを有し、各チャンネルごとに独立して設けられた音響光学素子に前記複数のレーザービームを通過させる音響光学手段と、前記音響光学手段の各チャンネルから出射するレーザービームを、その進行方向に垂直な断面が直線状となるように各レーザービームを平行に引き伸ばすビーム伸張手段と、前記音響光学手段の各チャンネルの音響光学素子に所定の電気信号を供給して前記音響光学手段の各チャンネルから出射するレーザービームの強度及び方向の少なくとも一方を制御する信号発生手段と、前記ビーム伸張手段を経て検査対象に照射されたレーザー光によって前記検査対象に生じた超音波又はこれが欠陥により反射もしくは散乱された超音波を検出する超音波検出手段と、を具備することを特徴とするレーザー超音波検査装置。