特許
J-GLOBAL ID：200903038500916918
酸化セリウム研磨材の再使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-027006
公開番号（公開出願番号）：特開2004-237163
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】ガラス基板の研磨において、研磨作業終了後の、使用済研磨液中の酸化セリウム研磨材を研磨作業に再使用する。【解決手段】酸化セリウム研磨材を水に分散させてスラリーとしてなる研磨液を用いガラス基板を研磨した後に排出される使用済研磨液に、凝集剤としてのポリ塩化アルミニウムを添加して酸化セリウム研磨材を凝集させた後に、分離手段を用いて凝集物と水とに分離させた後、凝集物を水に再度分散させて研磨液として再使用する酸化セリウム研磨材の再使用方法において、使用済研磨液中の酸化セリウムの重量に対するポリ塩化アルミニウムの添加量を1.0wt%以上、5.0wt%以下とし、且つポリ塩化アルミニウムを添加する際に、PH調整剤を用いて使用済研磨液のPH値を7±1.5に調整することを特徴とする酸化セリウム研磨材の再使用方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
酸化セリウム研磨材を水に分散させてスラリーとしてなる研磨液を用いガラス基板を研磨した後に排出される使用済研磨液に、凝集剤としてのポリ塩化アルミニウムを添加して酸化セリウム研磨材を凝集させた後に、分離手段を用いて凝集物と水とに分離させた後、凝集物を水に再度分散させて研磨液として再使用する酸化セリウム研磨材の再使用方法において、使用済研磨液中の酸化セリウム研磨材の重量に対するポリ塩化アルミニウムの添加量を1.0wt%以上、5.0wt%以下とし、且つポリ塩化アルミニウムを添加する際にPH調整剤を用いて使用済研磨液のPH値を、7.0±1.5に調整することを特徴とする酸化セリウム研磨材の再使用方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
3C047GG14
, 3C047GG17
, 4D059AA30
, 4D059BE01
, 4D059BE31
, 4D059BE38
, 4D059BE55
, 4D059BF13
, 4D059CC10
, 4D059DA16
, 4D059EB05
, 4D059EB11
