特許

J-GLOBAL ID：200903038513549787

粒子線を静電的に偏向させる装置

発明者： ハンス・ヨアヒム デーリンク ,  トーマス エルスター
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムス リトグラフィー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 伊藤 武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046207
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251816
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】粒子線を静電的に偏向させる装置において、製造技術上の利点を維持しながら利用価値を改善する。【解決手段】複数本の偏向ワイヤーが結合されて偏向格子を形成している。これら偏向ワイヤーは、1つの偏向格子に属しているすべての偏向ワイヤー(2.11,2.12;2.21,2.22;2.31,2.32)において常に同じ値の偏向電圧が印加されるように互いに接続され、且つ制御回路(5)と接続されている。

請求項（抜粋）：

2つの座標軸X,Yによって張られる面を走査する目的で粒子線を初期放射方向から静電的に偏向させる装置であって、偏向ワイヤーとして形成された複数の電極が制御回路に接続され且つ制御に応じて可変な偏向電圧を印加され、制御電圧が、座標軸Xまたは座標軸Y方向における粒子線の初期放射方向からの偏向に対し等価であるような前記装置において、複数本の偏向ワイヤーが結合されて偏向格子を形成しており、これら偏向ワイヤーは、1つの偏向格子に属しているすべての偏向ワイヤー(2.11,2.12;2.21,2.22;2.31,2.32)において常に同じ値の偏向電圧が印加されるように互いに接続され、且つ制御回路(5)と接続されていることを特徴とする装置。

IPC (4件)：

H01J 37/147 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/147 C ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  H01L 21/30 541 B ,  H01L 21/30 551

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-206172
  
• 特開昭60-044951