特許

J-GLOBAL ID：200903038516201315

ブラシ洗浄装置およびブラシ洗浄方法

発明者： 黒川 禎明 ,  金子 勝則
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237017
公開番号（公開出願番号）：特開2001-058161
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】 この発明は洗浄ブラシによって被洗浄物を良好に洗浄することができるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。【解決手段】 回転駆動される半導体ウエハ22を洗浄ブラシ71によって洗浄するブラシ洗浄装置において、上記洗浄ブラシは弾性材料によって形成されたブラシ本体72を有し、このブラシ本体には下端面に開放した空間部72aが形成され、この空間部内に洗浄液が供給される構成であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転駆動される被洗浄物を洗浄ブラシによって洗浄するブラシ洗浄装置において、上記洗浄ブラシは弾性材料によって形成されたブラシ本体を有し、このブラシ本体には下端面に開放した空間部が形成され、この空間部内に洗浄液が供給される構成であることを特徴とするブラシ洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 7/04 ,  H01L 21/304 644 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 7/04 A ,  H01L 21/304 644 A ,  H01L 21/304 644 G

Fターム (13件)：

3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB34 ,  3B116AB42 ,  3B116BA02 ,  3B116BA08 ,  3B116BA22 ,  3B116BA34 ,  3B116BB03 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32 ,  3B116BB45 ,  3B116BB62