特許
J-GLOBAL ID：200903038519351784
ウェハ移載装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-336525
公開番号（公開出願番号）：特開2006-147883
出願日： 2004年11月19日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】 作業効率が向上されたウェハ移載装置を提供する。【解決手段】 本実施形態に係るウェハ移載装置100においては、カメラ116がフォーク駆動部111の中央上部に配置されているため、ウェハ120aの移動が不要となった。また、識別記号120axの向きが上下逆になる場合や左右方向に傾いていて、作業者が判読しにくい場合には、画像処理を施すことによってウェハ画像表示部118における識別記号120axの向きを整えることができる。そのため、ウェハ120aの位置合わせが不要となった。さらに、回転させることなく、ウェハ周縁部を含むウェハの全体がウェハ画像表示部118に表示される。そのため、ウェハ120aを回転させる作業が不要となった。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ウェハの画像を撮像する撮像部と、
前記画像をユーザに提示する画像表示部と、
前記ユーザから指示を受け付け、該指示に基づいてウェハの移載位置を決定する移載位置決定部と、
決定された前記移載位置に前記ウェハを移動させる操作部と、
を備え、
前記撮像部は、該撮像部の視野領域内に固定された前記ウェハの一方の面の全体の画像を撮像することを特徴とするウェハ移載装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031GA47
, 5F031GA49
, 5F031GA50
, 5F031JA04
, 5F031JA50
, 5F031JA51
, 5F031PA30
