特許

J-GLOBAL ID：200903038520534523

電気特性検査プローブ

発明者： 石川 勝之 ,  菅野 修
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-267542
公開番号（公開出願番号）：特開2002-311106
出願日： 2001年09月04日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 被検査対象物の電極との間の接触抵抗を十分に低減し、精度の高い検査を行うことを可能とする電気特性検査プローブを提供する。【解決手段】 電気特性検査プローブ10は、被検査対象物50の電極52に接触させるための端子20を基板18の一の主面に有するプローブカード12と、プローブカード12の基板18の端子20が設けられた主面とは異なる他の主面上に設けられており、電圧を印加することで基板18の主面に沿う方向にプローブカード12を変位させることが可能な電歪素子16と、を備える。

請求項（抜粋）：

被検査対象物の電極に接触させるための端子を基板の一の主面に有するプローブカードと、前記プローブカードの前記基板の前記端子が設けられた主面とは異なる他の主面上に設けられており、電圧を印加することで該基板の主面に沿う方向に前記プローブカードを変位させることが可能な電歪素子と、を備えることを特徴とする電気特性検査プローブ。

IPC (5件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/06 D ,  G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (24件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G003AH00 ,  2G011AA03 ,  2G011AA16 ,  2G011AA17 ,  2G011AC02 ,  2G011AC11 ,  2G011AC13 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AF02 ,  2G132AF07 ,  2G132AF08 ,  2G132AL03 ,  2G132AL11 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD05 ,  4M106DD10 ,  4M106DD11 ,  4M106DD12