特許
J-GLOBAL ID：200903038525323946
光学歪の測定方法および形状の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293403
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152403
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】短時間で広い範囲の光学歪を測定評価する。【構成】コントラスト既知のパターンを持った散乱光源1よりの光を、透光性被測定物2中を透過させ、あるいは被測定物で反射させて受光装置3で受光し、その信号より被測定物2の光学歪あるいは形状を測定、検査する方法であって、光源1の1つのパターンに相当する検出領域ごとのデータ群より評価指標を計算する。
請求項（抜粋）：
光源よりの光を、透光性被測定物中を透過させて受光装置で受光し、その信号より被測定物の光学歪を測定する方法であって、前記光源はコントラスト既知のパターンを持った散乱光源であり、この光源の1つのパターンに相当する検出領域ごとのデータ群より評価指標を計算することを特徴とする光学歪の測定方法。
IPC (2件)：
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