特許

J-GLOBAL ID：200903038526234688

振動型多軸差動容量センサ

発明者： 松井 淳一郎
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-242419
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083492
出願日： 1997年09月08日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 電極間の静電容量の測定信号に重畳するノイズ成分を減らして検出感度を向上させる。【解決手段】 固定基板1の固定電極1aと可撓性基板2の中心電極2aとの間に印加する駆動電圧としてデューティ比0.1〜0.4の方形波を使用する。駆動電圧発生回路は、矩形波電圧を発生する発振回路と、その発振回路の出力のデューティ比を可変する回路と、その可変する回路の出力を増幅するバッファ回路とにより構成される。

請求項（抜粋）：

直交3軸をX,Y及びZ軸とするとき、X-Y平面に平行な固定基板と可撓性基板とが空隙を介して対向して配され、前記固定基板の内面に固定電極が形成され、前記可撓性基板の外面の中心部に錘部が固定され、内面の中心部に中心電極、その中心電極を中心として、X軸の正及び負の方向側にX正電極及びX負電極、Y軸の正及び負の方向側にY正電極及びY負電極がそれぞれ前記固定電極と対向して形成され、前記中心電極と固定電極との間に駆動電圧を印加して前記錘部をZ軸方向に振動させ、そのとき、X軸方向の入力角速度を前記Y正電極及びY負電極と前記固定電極との間の静電容量の差分より検出し、Y軸方向の入力角速度を前記X正電極及びX負電極と前記固定電極との間の静電容量の差分より検出するようにした振動型多軸差動容量センサにおいて、前記駆動電圧が、デューティ比0.1〜0.4の方形波であることを特徴とする振動型多軸差動容量センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01R 27/26

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01R 27/26 C