特許
J-GLOBAL ID：200903038526722461
マルチモードレーザによるディスク表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069383
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258246
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 ディスクの表面をマルチモードレーザにより走査して、検査のタクトタイムを短縮する。【構成】 表面検査装置の投光系3のレーザ光源51に、マルチモード型のガスレーザ管を使用し、これが出力するマルチモードビームを集束レンズ31によりスポットSM に集束して、回転するディスク1の表面に照射し、スポットSm の強度分布の両側の裾部分をオーバラップして円周方向に逐次走査する。【効果】 従来の単一モード型のスポットに比較して、検出性能が低下することなく検査のタクトタイムが短縮され、需要が増大する各種の多量のディスクの表面検査に対応できる。
請求項（抜粋）：
スピンドルに装着されて回転するディスクの表面に対して、レーザ光源のレーザビームを集束レンズによりスポットに集束して照射し、該表面を円周方向に走査して該表面に存在する欠陥を検査する表面検査装置において、マルチモード型のガスレーザ管を前記レーザ光源とし、該レーザ光源の出力するマルチモードビームを前記集束レンズにより集束し、該集束されたスポットを前記ディスクの表面に照射し、該スポットの強度分布の両側の裾部分をオーバラップして円周方向に逐次走査し、前記表面を検査することを特徴とする、マルチモードレーザによるディスク表面検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01J 1/00
, G01N 21/01
