特許

J-GLOBAL ID：200903038527563162

基板検査装置

発明者： 石田 進一郎
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-094753
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301658
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】基板検査装置において、プローブフレーム上の配線数を減らすこと。【解決手段】基板2に形成される電極2cに検査信号を印加することにより基板上のパネル2aを検査する基板検査装置であって、電極2cと電気的に接続して検査信号を電極に印加するプローブ1bと、プローブ1bに送る検査信号を形成する少なくとも一つの信号形成回路1cとを、同一のプローブフレーム1a上に備える構成とし、プローブフレーム1aに検査信号を形成する回路(信号形成回路)を実装することにより、プローブフレーム1a上の配線数を減らすことができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板に形成される電極に検査信号を印加することにより基板上のパネルを検査する基板検査装置であって、 前記電極と電気的に接続して検査信号を電極に印加するプローブと、 前記プローブに送る検査信号を形成する少なくとも一つの信号形成回路とを、 同一のプローブフレーム上、ステージ上、パレット上の少なくともいずれかに備えることを特徴とする基板検査装置。

IPC (4件)：

G01R31/02 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00

FI (4件)：

G01R31/02 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 352

Fターム (28件)：

2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB21 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2H088EA67 ,  2H088FA11 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088HA06 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  2H092GA61 ,  2H092JA24 ,  2H092MA35 ,  2H092MA56 ,  2H092MA57 ,  2H092NA11 ,  2H092NA30 ,  2H092PA06 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435EE37 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10