特許

J-GLOBAL ID：200903038528939948

赤外線固体撮像装置

発明者： 正田 昌宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244877
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088340
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】 受光部をいくつかの波長帯に分割できるような赤外線領域用の補色検出機能を持つ受光素子を備えた赤外線固体撮像装置を得ること。【構成】 オプティカルキャビティ構造の基板第1主面上の光電変換部とその上に透光性絶縁層を介して形成された反射膜との間の光学的距離が互いに異なる複数種の受光素子を基板上に配列して形成した受光部が、一種以上の受光素子を、その他種の受光素子で光電変換可能な波長域内の予め定められた特定波長の入射光と反射光とが互いの強度を弱め合うような光学的距離を有するものとすることにより、可視光領域における補色検出に相当する機能を備えた。

請求項（抜粋）：

光透過性基板上に複数の受光素子を配列して形成された受光部を有し、各受光素子は、基板の第1主面上に形成された光電変換部と、この光電変換部上に透光性絶縁層を介して形成された反射膜からなるオプティカルキャビティ構造を含み、前記基板の第1主面に対向する第2主面側から入射して基板を透過した入射光およびこの入射光のうち前記光電変換部と前記絶縁層を透過して前記反射膜で反射された反射光を前記光電変換部で電気信号に変換するようにした赤外線固体撮像装置であって、前記受光部は、前記光電変換部と反射膜間の光学的距離が互いに異なるオプティカルキャビティ構造をもつ複数種の受光素子が配列されており、前記複数種の受光素子のうち、一種以上の受光素子のオプティカルキャビティ構造は、それぞれ、その他種の受光素子で光電変換可能な波長域内の予め定められた特定波長の入射光と反射光とが互いの強度を弱め合うような光学的距離を有していることを特徴とする赤外線固体撮像装置。