特許
J-GLOBAL ID：200903038537388105
表面疵検査装置及びその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357926
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183398
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を確実に検出する。【解決手段】 本発明の表面疵検査装置は、被検査面に照明光を入射する線状拡散光源(22)と、被検査面からの正反射光に含まれる鏡面反射成分と鏡面拡散反射成分のうち、鏡面拡散反射成分に比較して鏡面反射成分をより多く抽出し受光する第1の受光手段(28a,29a)と、被検査面からの正反射光に含まれる鏡面反射成分と鏡面拡散反射成分のうち、鏡面反射成分に比較して鏡面拡散反射成分をより多く抽出し受光する第2の受光手段(28b,29b)と、第1及び第2の受光手段で受光された鏡面反射成分及び鏡面拡散反射成分に基づいて被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部(40)とを備えている。
請求項（抜粋）：
被検査面に照明光を入射する線状拡散光源と、前記被検査面からの正反射光に含まれる鏡面反射成分と鏡面拡散反射成分のうち、鏡面拡散反射成分に比較して鏡面反射成分をより多く抽出し受光する第1の受光手段と、前記被検査面からの正反射光に含まれる鏡面反射成分と鏡面拡散反射成分のうち、鏡面反射成分に比較して鏡面拡散反射成分をより多く抽出し受光する第2の受光手段と、前記第1及び第2の受光手段で受光された鏡面反射成分及び鏡面拡散反射成分に基づいて前記被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部とを備えた表面疵検査装置。
引用特許：
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