特許

J-GLOBAL ID：200903038546923641

誘導結合型プラズマトーチ

発明者： 長尾 泰明
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-006095
公開番号（公開出願番号）：特開平8-195295
出願日： 1995年01月19日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】プラズマ点火が容易で、しかも常圧の使用条件下でも安定した熱プラズマが得られる高周波誘導結合型プラズマトーチを提供する。【構成】高周波電源4に接続した誘導コイル3を巻装したトーチ外筒2の筒内中心部に、耐熱性の高い導電性材質で作られた例えばカーボン製ロッド9などのプラズマ点火用媒体をトーチ外筒の中心軸と同軸に配置し、該プラズマ点火用媒体を高周波誘導加熱により灼熱状態に加熱させつつ、この状態で前記媒体とトーチ外筒との間に仕切られたガス通路(プラズマ誘起電界強度の高い領域)にプラズマガスを送り込んで熱プラズマを生成させる。

請求項（抜粋）：

高周波電源に接続した誘導コイルを巻装したトーチ外筒の筒内中心部に、耐熱性の高い導電性材質で作られたロッド,ないし中空パイプとして誘導加熱を受けるプラズマ点火用媒体をトーチ外筒の中心軸と同軸に配置し、該プラズマ点火用媒体の外周とトーチ外筒との間に仕切られたガス通路にプラズマガスを供給して熱プラズマを発生させることを特徴とする誘導結合型プラズマトーチ。