特許

J-GLOBAL ID：200903038548399222

微細形状測定装置

発明者： 西村 国俊 ,  岡本 清和
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-285791
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090134
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】簡易な機構で精度の高い測定が可能な微細形状測定装置を提供する。【解決手段】触針107が被測定物Wと接触した際に変化する状態量を検出する状態量検出手段と、触針107あるいは被測定物Wを相対移動させる微動機構11と、この微動機構11による触針107及び被測定物W間の相対移動量を検出する変位検出手段30とを備える。微動機構11は、被取付部102に取り付けられる微動機構支持体3と、この微動機構支持体3に対して変位するとともに触針107が取り付けられた駆動用可動部4と、この駆動用可動部4の動きの反力が微動機構支持体3に伝達されないような駆動用可動部4と逆の動きをするバランス用可動部13とを有する。微動機構11の駆動用可動部4の動きの反力は微動機構支持体3に伝達されない。

請求項（抜粋）：

被測定物に接触する触針と、この触針が前記被測定物と接触した際に変化する状態量を検出する状態量検出手段と、前記触針あるいは前記被測定物を前記被測定物の表面の高さ方向に応じて相対移動させる微動機構と、この微動機構による前記触針及び前記被測定物間の前記相対移動量を検出する変位検出手段とを備え、前記微動機構は、被取付部に取り付けられる微動機構支持体と、この微動機構支持体に対して変位するとともに前記触針が取り付けられた駆動用可動部と、この駆動用可動部の動きの反力が微動機構支持体に伝達されないような前記駆動用可動部と逆の動きをするバランス用可動部とを有し、前記状態量検出手段からの出力信号を前記微動機構にフィードバックし、前記触針と前記被測定物間の作用力を調整することを特徴とする微細形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/00 ,  G01B 21/30 101

FI (2件)：

G01B 21/00 L ,  G01B 21/30 101 Z

Fターム (9件)：

2F069AA06 ,  2F069AA51 ,  2F069BB13 ,  2F069BB15 ,  2F069GG02 ,  2F069HH01 ,  2F069MM38 ,  2F069NN05 ,  2F069NN06