生産管理方法及び生産ライン

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：沼形義彰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-174993
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046006
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】量産品と試作品を1つの製造ラインで生産される際に、量産品の生産数量を減らさず、試作品の製作期間を短くすることを目的とする。【構成】複数のローダ、アンローダを備え、しかも上位システムの指示によりローダにある優先度の高いロットを先に処理できる装置において、ウェハ識別機能を備えることで、ロットの分割・合成が装置上で行える。この装置を利用した製造ラインに、各工程の負荷状況を考慮してロットの分割・合成を指示できる試作生産管理装置を置くことで、試作ロットを短期間で生産できる。【効果】本発明では、装置で処理中のロットがある際に、割り込んで優先度の高いロットを処理でき、試作品の製作期間を短縮できる。

請求項（抜粋）：

複数の処理工程に対応する複数の製造装置と、各製造装置を結ぶ製品の搬送装置と、全体の制御部と、制御部が接続される上位システムとを備えた生産ラインにおける試作製品の生産管理方法において、製造装置は複数のローダ、アンローダを有し、各ローダはローダに搭載されたロットの認識手段を有し、上位システムはローダに搭載されたロットに情報に基づいて試作製品のロットを優先的に処理する指令を製造装置に発することを特徴とする生産管理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , G06F 17/60 , H01L 21/02 , B23Q 41/08

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-273314
特開昭63-202514
特開平1-273314

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