導電性電子フィーチャを堆積するための低粘度前駆体組成物および方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-534993
公開番号（公開出願番号）：特表2005-537386
出願日： 2002年10月04日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

導電性フィーチャなどの電気フィーチャを堆積し形成するための前駆体組成物。前駆体組成物は、直接描画ツールを使用して堆積可能であるように、低粘度であることが有利である。また、前駆体組成物は、低温基板上に堆積して電気フィーチャに変換することを可能とするように変換温度が低い。特に好ましい前駆体組成物は導電性の高い銀フィーチャを形成するための銀金属を含む。別の好ましい前駆体組成物は導電性の高い銅フィーチャを形成するための銅金属を含む。

請求項（抜粋）：

1000センチポアズ以下の粘度を有する金属前駆体組成物であって、 (a)金属前駆体化合物と、 (b)乾燥金属前駆体化合物に比べて前記金属前駆体組成物の変換温度を少なくとも約25°C下げるのに十分な量の変換反応誘導剤とを備え、前記金属前駆体組成物の該変換温度が約200°C以下である金属前駆体組成物。

IPC (7件)：

C23C20/04 , B05D3/02 , B05D5/12 , B41M5/00 , H01L21/28 , H01L21/288 , H01L21/3205

FI (9件)：

C23C20/04 , B05D3/02 Z , B05D5/12 B , B41M5/00 A , B41M5/00 B , B41M5/00 E , H01L21/28 B , H01L21/288 Z , H01L21/88 B

Fターム (143件)：

2H086BA02 , 2H086BA05 , 2H086BA19 , 2H086BA21 , 2H086BA22 , 2H086BA23 , 2H086BA52 , 2H086BA53 , 2H086BA59 , 2H086BA60 , 2H086BA61 , 2H086BA62 , 4D075AA02 , 4D075AA81 , 4D075AA82 , 4D075AA86 , 4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC23 , 4D075AC41 , 4D075AC91 , 4D075AC92 , 4D075AC96 , 4D075BB28Z , 4D075BB37Z , 4D075BB45Z , 4D075BB48Z , 4D075BB92Z , 4D075BB93Z , 4D075BB95Z , 4D075CA22 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DB11 , 4D075DB13 , 4D075DB18 , 4D075DB20 , 4D075DB33 , 4D075DB35 , 4D075DB36 , 4D075DB37 , 4D075DB38 , 4D075DB39 , 4D075DB43 , 4D075DB47 , 4D075DB48 , 4D075DB53 , 4D075DB61 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075EA06 , 4D075EA14 , 4D075EB07 , 4D075EB12 , 4D075EB14 , 4D075EB22 , 4D075EB32 , 4D075EB35 , 4D075EB38 , 4D075EB39 , 4D075EB43 , 4D075EC01 , 4D075EC02 , 4D075EC07 , 4D075EC08 , 4D075EC10 , 4D075EC30 , 4D075EC35 , 4D075EC53 , 4D075EC54 , 4K022AA02 , 4K022AA12 , 4K022AA13 , 4K022AA14 , 4K022AA15 , 4K022AA18 , 4K022AA20 , 4K022AA22 , 4K022AA23 , 4K022AA36 , 4K022AA41 , 4K022AA42 , 4K022BA01 , 4K022BA02 , 4K022BA03 , 4K022BA08 , 4K022BA09 , 4K022BA10 , 4K022BA12 , 4K022BA14 , 4K022BA17 , 4K022BA18 , 4K022BA21 , 4K022BA24 , 4K022BA25 , 4K022BA31 , 4K022DA06 , 4K022DB01 , 4K022DB03 , 4K022DB04 , 4K022DB18 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB14 , 4M104BB36 , 4M104DD21 , 4M104DD22 , 4M104DD51 , 4M104DD79 , 4M104DD80 , 4M104DD86 , 4M104GG02 , 4M104GG04 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 5F033GG04 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH18 , 5F033PP26 , 5F033QQ00 , 5F033QQ53 , 5F033QQ73 , 5F033QQ82 , 5F033QQ83 , 5F033QQ88 , 5F033WW00 , 5F033WW01 , 5F033WW02 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033XX33 , 5F033XX34

引用特許：

審査官引用 (11件)

はんだ付け可能な導電性ペースト
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-123950 出願人：旭化成工業株式会社
特開昭59-167906
特開昭60-195077

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