磁気記録媒体及び磁気記録装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川北喜十郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313777
公開番号（公開出願番号）：特開2001-134918
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】極薄の炭素保護層を備え、高密度記録に適した磁気記録媒体及びその媒体を備える磁気記録装置を提供する。【解決手段】磁気記録媒体10は、ECRスパッタ法により形成した炭素保護層4を備える。ECRスパッタ法を用いると、5nm以下の極薄でありながら均一な炭素保護膜4を磁性層3上に形成することができる。磁性層3にP、Si、Bを含ませることにより、磁性層表面の保護層側に不動態皮膜を形成し、磁性層3にも保護機能を持たせる。炭素保護膜4及び磁性層3の不動態皮膜により、保護層を極薄にしても十分な保護強度及び耐食性を磁気記録媒体表面にもたらすことができる。これによって磁気ヘッドと媒体の間の距離を狭めることができ、高密度記録の可能な磁気記録媒体及び磁気記録装置を提供できる。

請求項（抜粋）：

磁気記録媒体であって、基板と;上記基板上に形成され、情報が記録される磁性層と;上記磁性層上にECRスパッタ法により形成された炭素保護層と;を備え、上記磁性層は、クロム、ニオブ、タンタル、及びチタンからなる群より選ばれた少なくとも1種類の元素と、リン、ホウ素、及びケイ素からなる群より選ばれた少なくとも1種類の元素を含むことを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (7件)：

G11B 5/64 , G11B 5/72 , G11B 5/738 , H01F 10/00 , H01F 10/16 , H01F 10/30 , H01F 41/18

FI (7件)：

G11B 5/64 , G11B 5/72 , G11B 5/738 , H01F 10/00 , H01F 10/16 , H01F 10/30 , H01F 41/18

Fターム (22件)：

5D006AA02 , 5D006AA05 , 5D006AA06 , 5D006BB01 , 5D006BB06 , 5D006BB07 , 5D006CA01 , 5D006CA05 , 5D006CA06 , 5D006DA03 , 5D006EA03 , 5D006FA09 , 5E049AA04 , 5E049AA09 , 5E049AC00 , 5E049BA06 , 5E049CC01 , 5E049DB04 , 5E049DB14 , 5E049DB20 , 5E049GC01 , 5E049GC08

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