多層膜反射鏡

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-257099
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122496
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】軟X線領域において、特に波長108.4 Åの鉄の輝線スペクトル(Fe XIX)に対して、高い反射率と波長分解能を有する多層膜反射鏡を提供すること。【構成】軟X線領域での屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質の第1層(3)と大きい物質の第2層(2)とを基板(1)上に交互に積層してなる多層膜反射鏡において、前記屈折率の差が小さい物質として、ホウ素、炭素、炭化ホウ素、または窒化ホウ素を用い、前記屈折率の差が大きい物質として、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、または銀を用いたことを特徴とする多層膜反射鏡。

請求項（抜粋）：

軟X線領域での屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質の第1層と大きい物質の第2層とを基板上に交互に積層してなる多層膜反射鏡において、前記屈折率の差が小さい物質として、ホウ素、炭素、炭化ホウ素、または窒化ホウ素を用い、前記屈折率の差が大きい物質として、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、または銀を用いたことを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (2件)：

G21K 1/06 , G02B 5/28

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開昭64-094300
特開2050-297800
特開昭63-191951

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