特許
J-GLOBAL ID:200903038560604907

X線検査装置における実効焦点寸法の決定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 均 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-228429
公開番号(公開出願番号):特開2002-040199
出願日: 2000年07月28日
公開日(公表日): 2002年02月06日
要約:
【要約】【課題】 マイクロフォーカスX線管などを用いたX線検査装置において、その実効焦点寸法を、簡便かつ客観的に測定することができる実効焦点寸法の決定方法を提供すること。【解決手段】 まず、第1方向Xに沿って配置された第1線幅(S1 )の第1パターン20と、前記第1方向Xと直交する第2方向Yに沿って配置された第1線幅と異なる第2線幅(S2 )の第2パターン22とを少なくとも有する試料2bをX線検査装置にセットする。次に、X線像センサにおけるX線検査面での試料の拡大画像を検出し、拡大された第1パターンの第1線幅を拡大後第1線幅(L1 )とし、拡大された前記第2パターンの第2線幅を拡大後第2線幅(L2 )とする。次に、下記の式(8)から、X線源での実効焦点寸法(F)を求める。F=(L1 ・S2 -L2 ・S1 )/(L2 -L1 ) ...(8)
請求項(抜粋):
X線発生面の実質的に点状のX線源から所定の広がり角度を持ってX線を発生するX線発生器と、被検査対象物に照射されたX線の画像を検出するX線検出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するX線像センサと、を有するX線検査装置における実効焦点寸法の決定方法において、前記被検査対象物として、第1方向に沿って配置された第1線幅(S1 )の第1パターンと、前記第1方向と直交する第2方向に沿って配置された前記第1線幅と異なる第2線幅(S2 )の第2パターンとを少なくとも有する試料を配置する工程と、前記X線像センサにおける前記X線検出面での前記試料の拡大画像を検出し、拡大された前記第1パターンの第1線幅を拡大後第1線幅(L1 )とし、拡大された前記第2パターンの第2線幅を拡大後第2線幅(L2 )とする工程と、下記の式から、前記X線源における実効焦点寸法(F)を求める工程とを有するX線検査装置における実効焦点寸法の決定方法。F=(L1 ・S2 -L2 ・S1 )/(L2 -L1 )
IPC (2件):
G21K 5/02 ,  G01N 23/04
FI (2件):
G21K 5/02 X ,  G01N 23/04
Fターム (15件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA02 ,  2G001GA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA12 ,  2G001JA13 ,  2G001JA17 ,  2G001KA03

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