特許
J-GLOBAL ID：200903038563660530
超音波洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266238
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109685
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】本発明は、パーティクルの発生を抑制し、洗浄液の汚染を防止して、被洗浄物に対する常に良好な超音波洗浄をなす超音波洗浄装置を提供する。【構成】被洗浄物aを浸漬する洗浄液が収容され、かつ少なくとも内壁が耐蝕性金属材からなる洗浄槽1と、この洗浄槽に洗浄液に直接接触するよう取付けられる耐蝕性金属材からなる超音波振動板7と、この超音波振動板に連結され超音波を発生して上記超音波振動板を超音波振動させ洗浄液に浸漬した上記被洗浄物を超音波洗浄する超音波振動子8とを具備し、少なくとも洗浄液が接触する上記洗浄槽の内壁面および上記超音波振動板面を電解研磨加工面としたことを特徴とする超音波洗浄装置である。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を浸漬する洗浄液が収容され、かつ少なくとも内壁が耐蝕性金属材からなる洗浄槽と、この洗浄槽に洗浄液に直接接触するよう取付けられる耐蝕性金属材からなる超音波振動板と、この超音波振動板に連結され超音波を発生して上記超音波振動板を超音波振動させ洗浄液に浸漬した上記被洗浄物を超音波洗浄する超音波振動子とを具備し、少なくとも洗浄液が接触する上記洗浄槽の内壁面および上記超音波振動板面を電解研磨加工面としたことを特徴とする超音波洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/12
, B23H 9/00
