特許
J-GLOBAL ID:200903038571118605
走査型顕微鏡
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-314856
公開番号(公開出願番号):特開平8-171056
出願日: 1994年12月19日
公開日(公表日): 1996年07月02日
要約:
【要約】【目的】1つの走査間隔に固定化されることなく、その時々のシステム構成に応じた最短の走査間隔を逐次設定できハードウエア性能を十分に生かせること。【構成】二次元走査により取得した画像信号を外部記録媒体又は内部メモリへ保存した後、予め設定された時間の経過後に再び同一走査範囲の走査を開始するように動作設定された走査型顕微鏡を開示する。既知の走査条件に基づいて前記二次元走査から画像信号の保存までの一連の動作を実行して画像の試し取りを行い、その画像の試し取りに要した時間を計測する。走査条件の変更があれば変更後の走査条件の下で画像の取り込みに要する時間を計測した時間に基づいて予想する。
請求項(抜粋):
予め設定された走査範囲を二次元走査すると共にその走査により取得した画像信号を外部記録媒体又は内部メモリへ保存した後、予め設定された時間の経過後に再び同一走査範囲の走査を開始するように動作設定された走査型顕微鏡において、既知の走査条件に基づいて前記二次元走査から画像信号の保存までの一連の動作を実行して画像の試し取りを行う試し取り手段と、前記試し取り手段によって実行された画像の試し取りに要した時間を計測する取込時間計測手段と、前記走査条件の変更があると変更後の走査条件の下で画像の取り込みに要する時間を前記取込時間計測手段で計測した時間に基づいて予想する時間予測手段とを具備したことを特徴とする走査型顕微鏡。
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