特許

J-GLOBAL ID：200903038573962268

センサ

発明者： 野洲 栄治
出願人/特許権者： 株式会社クボタ
代理人 (1件)： 北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011925
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214140
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 表面弾性波発振器を利用したセンサであって、高速応答性と高精度を兼ね備え、且つ、回路構成の簡単なセンサを提供する。【解決手段】 圧電性膜4をその圧電性膜4より表面弾性波の伝搬速度が速い高速伝搬体3上に形成し、圧電性膜4上に1組以上の二つのすだれ状電極トランスデューサ5、6を形成し、各組のすだれ状電極トランスデューサ5、6において一方のトランスデューサ5を増幅器8の入力側8aに接続し、増幅器8の出力側8bを他方のトランスデューサ6に接続して、少なくとも一つの遅延線型の表面弾性波発振器1を構成し、且つ、各表面弾性波発振器1の発振周波数を各別に測定する周波数測定手段9を備えてなる。更に好ましくは、少なくとも一つの表面弾性波発振器1において、圧電性膜4上の二つのすだれ状電極トランスデューサ5、6間に所定の被測定量に感応する感応膜10を形成してなる。

請求項（抜粋）：

圧電性膜をその圧電性膜より表面弾性波の伝搬速度が速い高速伝搬体上に形成し、前記圧電性膜上に二つのすだれ状電極トランスデューサを形成し、一方のトランスデューサを増幅器の入力側に接続し、前記増幅器の出力側を他方のトランスデューサに接続して遅延線型の表面弾性波発振器を構成し、且つ、前記表面弾性波発振器の発振周波数を測定する周波数測定手段を備えてなるセンサ。

Fターム (8件)：

2G047BC04 ,  2G047BC15 ,  2G047BC16 ,  2G047CA01 ,  2G047CB03 ,  2G047GB21 ,  2G047GF11 ,  2G047GF22