特許
J-GLOBAL ID：200903038580063210
ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-198003
公開番号（公開出願番号）：特開平5-040102
出願日： 1991年08月07日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 特定の種類のガスに対する良好な選択性を確保し、誤差のない適正な検知を可能とする。【構成】 ステムと、このステムに垂直状態に植設したリードピンと、これらリードピンにそれぞれリードフレームを介して保持した矩形状のヒータ基板4と、このヒータ基板4に埋設したヒータ7と、このヒータ基板4の表面に設けた感ガス体13と、この感ガス体13を覆うように形成した第1触媒層14と、この第1触媒層14とは異なる組成を有しその第1触媒層14の上に重ねて形成した第2触媒層15とを備え、感ガス体13の抵抗値変化をセンサ出力として取出す。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板に設けたヒータと、前記基板に設けた感ガス体と、互いに異なる組成を有し前記感ガス体を覆うように順次重ねて形成した複数の触媒層とを備え、前記感ガス体の抵抗値変化をセンサ出力とすることを特徴とするガスセンサ。
引用特許：
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