特許
J-GLOBAL ID:200903038580576420
積層型固体撮像装置及びそれを用いたカメラ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-121161
公開番号(公開出願番号):特開2003-318380
出願日: 2002年04月23日
公開日(公表日): 2003年11月07日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、電気的特性の劣化を防いで安定に動作し、作製時の歩留まりを向上することができる積層型固体撮像装置及びそれを用いたカメラを提供することを目的とする。【解決手段】 別基板上に作製した光電変換部30と信号電荷読み出し回路部20とに圧力を加え接合する積層型固体撮像装置において、光電変換部30と信号電荷読み出し回路部20の少なくともいずれか一方に圧力緩和層110を設けたことにより、電気的特性の劣化を防いで安定に動作し作製時の歩留まりを向上することができる。
請求項(抜粋):
別基板上に作製した光電変換部と信号電荷読み出し回路部とに圧力を加え接合する積層型固体撮像装置において、前記光電変換部と前記信号電荷読み出し回路部の少なくともいずれか一方に圧力緩和層を設けたことを特徴とする積層型固体撮像装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H04N 5/335 U
, H01L 27/14 F
Fターム (11件):
4M118AB01
, 4M118BA07
, 4M118CA14
, 4M118CB05
, 4M118FA06
, 4M118HA29
, 4M118HA31
, 5C024CX04
, 5C024CX32
, 5C024CY47
, 5C024GX07
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