ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324405
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142209
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ硬化後の皮膜特性として優れた機械特性、接着性、吸水性を有する高感度のポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部及び有機フィラー、無機フィラーまたは顔料から選ばれる(C)成分からなり、下記式で示される(C)成分の含有量Fが2〜70wt%であるポジ型感光性樹脂組成物である。F={(C)成分/(ポリアミド+(C)成分)}×100また、ポジ型感光性樹脂組成物にフェノール化合物(D)1〜30重量部を含むポジ型感光性樹脂組成物である。【化25】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部及び有機フィラー、無機フィラーから少なくとも1種選ばれる(C)成分からなり、下記式で示される(C)成分の含有量Fが2〜70wt%であることを特徴とするポジ型感光性組成物。F={(C)成分/(ポリアミド+(C)成分)}×100(%)【化1】

IPC (12件)：

G03F 7/037 , C08G 69/32 , C08G 69/42 , C08K 3/36 , C08K 5/13 , C08K 5/136 , C08L 77/06 , C08L 77/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (12件)：

G03F 7/037 , C08G 69/32 , C08G 69/42 , C08K 3/36 , C08K 5/13 , C08K 5/136 , C08L 77/06 , C08L 77/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (104件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BC70 , 2H025BC86 , 2H025BE01 , 2H025CB26 , 2H025CB33 , 2H025CB45 , 2H025CC08 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096BA10 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 4J001DA01 , 4J001DB01 , 4J001DB04 , 4J001DC05 , 4J001DC08 , 4J001DC10 , 4J001DC14 , 4J001DC16 , 4J001DC22 , 4J001DC24 , 4J001DD05 , 4J001EB35 , 4J001EB36 , 4J001EB37 , 4J001EB44 , 4J001EB56 , 4J001EB57 , 4J001EB58 , 4J001EB59 , 4J001EB60 , 4J001EC23 , 4J001EC24 , 4J001EC27 , 4J001EC33 , 4J001EC38 , 4J001EC44 , 4J001EC54 , 4J001EC56 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC68 , 4J001EC69 , 4J001EC70 , 4J001EE04E , 4J001EE08E , 4J001EE09E , 4J001EE18E , 4J001EE23A , 4J001EE26E , 4J001EE35E , 4J001EE38A , 4J001EE42E , 4J001EE65A , 4J001FB03 , 4J001FC03 , 4J001FC06 , 4J001JA20 , 4J001JB50 , 4J002BD152 , 4J002BG042 , 4J002CC032 , 4J002CC162 , 4J002CC182 , 4J002CD002 , 4J002CF002 , 4J002CL002 , 4J002CL061 , 4J002CL071 , 4J002CM042 , 4J002DE077 , 4J002DE117 , 4J002DE147 , 4J002DE237 , 4J002DG057 , 4J002DJ007 , 4J002DJ017 , 4J002DJ037 , 4J002DJ047 , 4J002DJ057 , 4J002EJ038 , 4J002EJ058 , 4J002EJ068 , 4J002EQ036 , 4J002FD012 , 4J002FD017 , 4J002FD090 , 4J002FD200 , 4J002FD206 , 4J002FD208 , 4J002GP03 , 4J002HA05

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