特許

J-GLOBAL ID：200903038591142138

金属ケース封止型センサ及びその製造方法

発明者： 大嶽 佳幸 ,  西 雅彦 ,  川合 伸夫 ,  早川 賢
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201487
出願日： 1992年12月30日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】 高温酸化雰囲気下での使用によって金属ケース封止型センサの特性劣化のないようにする。【構成】 金属ケース封止型センサTを構成する金属部品のシース13,内側パイプ14,外側パイプ17を、Cr;20重量%、Al;1重量%、Si;1重量%を満たした耐熱合金(SUS310S)で形成する。この金属部品を、H2OとH2 等の混合気体の混合比を変化させて酸素分圧を1×10-15 Torrとし、Max1190°Cで30min.で熱処理する。この低酸素雰囲気中での熱処理により、主に酸化物の平衡解離圧の小さい金属であるAl,Cr,Siが酸化され、金属部品の表面に酸化物Al2 O3 ,Cr2 O3 ,SiO2 の膜が形成される。この膜は拡散係数が小さく、酸素を通しにくいので、酸化が進行せず、ケース内が酸化雰囲気に保たれるので、センサ本体を劣化させない。

請求項（抜粋）：

センサ本体を金属ケースによりその内部に封止してなる金属ケース封止型センサにおいて、前記金属ケースの表面に低酸素雰囲気下の熱処理により形成した熱力学的に安定でかつ金属イオンや酸素イオンの拡散係数の小さい金属酸化物の被膜を設けたことを特徴とする金属ケース封止型センサ。

IPC (2件)：

G01K 7/22 ,  G01K 1/08