特許
J-GLOBAL ID：200903038596528905
ニューラルネットワークによる表面粗さ測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223403
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077416
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 無方向性表面平坦化加工を施した工作物の表面粗さを光学的に非接触測定するために、光学的に得られた各種データを画像処理及びニューラルネットワークを用いて評価する。【構成】 マイクロスコープ、マイクロスコープ用コントローラ、イメージプロセッシングボード、ニューラルネットワークシステムボード、パーソナルコンピュータ等により構成し、前もって標準面の表面粗さ及び光反射特性を測定して、ニューラルネットワークに教師信号として入力し、標準面の各種光反射特性値によって、学習を行わせて、表面粗さを決定するためのニューラルネットワークを構築し、被測定表面の光反射特性による各種測定値を表面粗さを決定するためのニューラルネットワークに入力し、教師信号と比較評価させ、被測定表面の表面粗さを決定する。
請求項（抜粋）：
各種の無方向性表面平坦化加工をほどこした表面の表面粗さを光反射特性を用いて測定するに当たり、前似て標準面の表面粗さ及び光反射特性を測定して、ニューラルネットワークに教師信号として入力し、上記標準面の各種光反射特性値によって、学習を行わせて、表面粗さを決定するためのニューラルネットワークを構築し、被測定表面の光反射特性による各種測定値を前記の表面粗さを決定するためのニューラルネットワークに入力し、前記教師信号と比較評価させ、前記被測定表面の表面粗さを決定することを特徴としたニューラルネットワークによる表面粗さ測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/30 102
, G06F 15/18 560
