特許
J-GLOBAL ID:200903038598258280

板材の光学特性測定用加熱炉

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-004574
公開番号(公開出願番号):特開平5-187994
出願日: 1992年01月14日
公開日(公表日): 1993年07月27日
要約:
【要約】【目的】 金属などの平板状材料表面の光反射や光干渉,放射などの光学特性を高温状態で実験的に測定するのに用いられる加熱炉を提供する。【構成】 加熱手段を有するヒータユニット8Aと、平板状材料のサンプル1を固定するサンプルステージユニット30と、光源からの放射光をサンプル1に入射する入射窓22と光学センサが検出するサンプル1からの反射光を透過する測定窓23とを複数対有する観測窓ユニット10との3部分からなり、この3部分全体が一体化された状態でサンプルの垂線を軸として回転自在とする回転ローラなどの回転駆動機構39と、サンプルステージユニット30のサンプルステージをサンプルの垂線を軸として回転自在とするハンドルなどの回転駆動機構35と、炉体12Aをその回転位置で固定するロックバーなどの固定手段とを備えることにより、迅速な光学特性の測定が可能である。
請求項(抜粋):
平板状材料表面の光学特性を実験的に測定するための加熱炉であって、加熱手段を有するヒータユニットと、平板状材料のサンプルを固定するサンプルステージユニットと、光源からの放射光を前記サンプルに入射する入射窓と光学センサが検出する前記サンプルからの反射光を透過する測定窓とを複数対有する観測窓ユニットとの3部分からなる加熱炉とされ、この加熱炉全体が一体化された状態で前記サンプルの垂線を軸として回転自在とする回転駆動機構と、前記サンプルステージユニットのサンプルステージを前記サンプルの垂線を軸として回転自在とする回転駆動機構と、前記加熱炉全体をその回転角度位置ごとにロックする固定手段とを備えてなることを特徴とする板材の光学特性測定用加熱炉。
IPC (3件):
G01N 21/01 ,  G01N 21/88 ,  G01N 25/00
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭61-075008

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