特許
J-GLOBAL ID：200903038603491702
振動式角速度検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-290774
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190635
出願日： 1998年10月13日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】振動式角速度検出器においてマス部を励振軸方向に振動させる時、検出軸方向への漏れ振動を抑制するようにして、検出精度を向上させること。【解決手段】マス部10の両側からx軸方向に延設された第1支持ビーム21、22、23、24と、第1支持ビームの他端から延設されy軸方向に伸びた自由ビーム31、32、33、34と、この任意の1本の自由ビーム31に対して、この自由ビームに平行に所定間隔を隔て設けられ、第1支持ビームに近い方の端部611、612が基板1に固定された少なくとも2本の固定ビーム511、512と、固定ビームの他端と自由ビームの一端とを接続し、x軸方向に伸びたリンク41とから成る第2支持ビームとを備えた。各自由ビームは励振軸であるx軸方向には容易に変位し得るが検出軸であるy軸方向には変位し難い。また、自由ビームを、1本だけでなく平行な複数の自由ビームの組とすることで、漏れ振動を更に抑制することも可能となる。
請求項（抜粋）：
基板面上にx軸、x軸に垂直にy軸をとり、基板面に垂直にz軸をとるとき、基板に対して振動可能に配設されたマス部をx軸方向に励振させ、z軸の回りの角速度をy軸方向に発生するコリオリ力に関連する物理量を検出することで、前記角速度を検出する振動式角速度検出器において、前記マス部の両側から前記x軸方向に延設された第1支持ビームと、前記第1支持ビームの他端から延設され前記y軸方向に伸びた自由ビームと、この任意の1つの自由ビームについて、その自由ビームに平行に所定間隔を隔て設けられ、前記第1支持ビームに近い方の端部が基板に固定された少なくとも2本の固定ビームと、前記固定ビームの他端と前記自由ビームの一端とを接続し、x軸方向に伸びたリンクとから成る第2支持ビームと、を備えることを特徴とする振動式角速度検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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