特許
J-GLOBAL ID:200903038605040821

超音波洗浄方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 津川 友士
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-076904
公開番号(公開出願番号):特開平8-267029
出願日: 1995年03月31日
公開日(公表日): 1996年10月15日
要約:
【要約】【目的】 超音波洗浄の効率を高め、所要時間を短縮する。【構成】 洗浄槽1中の洗浄液を脱気状態にし、超音波振動子2によるキャビテーション分布の最大地点をカメラ5により取り込まれた画像に基づいて検出し、被洗浄物14を支持するホルダ3を昇降させることにより、被洗浄物14をキャビテーション分布の最大地点を中心として超音波波長の1/2未満の範囲で昇降させる。
請求項(抜粋):
洗浄槽(1)内の洗浄液(13)中に超音波振動子(2)を設け、超音波振動子(2)から超音波を放射して洗浄液(13)中の被洗浄物(14)の洗浄を行うに当って、前記洗浄槽(1)内の深さ方向におけるキャビテーション分布の最大地点を基準として前記超音波の波長の1/2未満の範囲内で超音波振動子(2)または被洗浄物(14)を上下動させることを特徴とする超音波洗浄方法。
IPC (2件):
B08B 3/12 ,  D01D 4/04
FI (2件):
B08B 3/12 Z ,  D01D 4/04 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平1-239436
  • 特開平3-019906
  • 特開平1-239436
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