特許

J-GLOBAL ID：200903038605912020

露光装置

発明者： 尾崎 多可雄
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-021505
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233608
出願日： 2003年01月30日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】記録媒体に対する画像形成時間を短縮し、かつ記録媒体における描画領域の増加に伴って記録媒体に対する画像形成時間が増加することを防止する。【解決手段】レーザー露光装置200では、読取キャリッジ210に装着されたステージ部材220を前進させると共に、CCDカメラ284,286,288によりステージ部材220上に載置された基板材料202のアライメントマーク132を読み取る読取工程と、露光キャリッジ214に装着されたステージ部材220を前進させると共に、レーザースキャナ134により基板材料202を画像情報に基づき変調されたレーザービームBにより露光する露光工程とを略同時期に行い、前記読取工程の完了後に、ステージリフタ250がステージ部材220を基板材料202と共に読取キャリッジ210から持ち上げ、これを露光キャリッジ214に載せ替える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定の領域に描画領域が設けられると共に、該描画領域に対応するアライメントマークが形成された記録媒体を移動させつつ、該記録媒体における描画領域を画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該描画領域に画像を形成する露光装置であって、 記録媒体を保持すると共に、該記録媒体と一体となって移動するステージ部材と、 前記ステージ部材が着脱可能とされた読取キャリッジが設けられ、該読取キャリッジに装着された前記ステージ部材を所定の読取搬送経路に沿って移動させる読取搬送手段と、 前記読取搬送経路に沿って移動する前記ステージ部材により保持された記録媒体からアライメントマークを前記読取搬送経路における所定の読取位置で読み取る読取手段と、 前記読取手段からの読取情報に基づいて記録媒体における描画領域の位置を判断すると共に、この描画領域の位置に応じて画像情報に対する変換処理を行う情報処理部と、 前記ステージ部材が着脱可能とされた露光キャリッジが設けられ、該露光キャリッジに装着された前記ステージ部材を所定の露光搬送経路に沿って移動させる露光搬送手段と、 前記露光搬送経路に沿って移動する前記ステージ部材により保持された記録媒体における描画領域を、前記露光搬送経路における所定の露光位置で前記情報処理部からの画像情報に基づき変調された光ビームにより露光して、この該描画領域に画像を形成する露光手段と、 前記読取手段により記録媒体からアライメントマークを読み取った後、前記ステージ部材を記録媒体と共に前記読取キャリッジから離脱させ前記露光キャリッジに装着する第1の載替手段と、 を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F7/20 ,  G03F7/22 ,  G03F9/00

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  G03F7/22 Z ,  G03F9/00 Z

Fターム (8件)：

2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BA10 ,  2H097CA17 ,  2H097KA01 ,  2H097KA13 ,  2H097KA20 ,  2H097LA09