特許
J-GLOBAL ID：200903038610073088
変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-192214
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005618
出願日： 2000年06月27日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：
【要約】【課題】 環境温度の変化による測長精度の悪化を防止する。【解決手段】 光源と、光束を透過光と回折光の2光束に分岐する回折格子と、前記回折格子の刻線方向と垂直な方向に、前記回折格子と一体に可動となるスピンドルと、前記2光束の一方の光路に配置し、光束の進行方向と垂直な断面平面内の領域間で所望の位相差が得られるように位相変調可能な液晶デバイスと、前記2光束をそれぞれ前記回折格子の入射点に再度入射させる反射鏡と、前記回折格子で再合成された2光束による干渉光を前記液晶デバイスの位相変調領域に対応して、複数の電気信号に変換する光電変換部材よりなり、前記光電変換部材からの複数の出力信号により前記回折格子の変位を計測する変位測定装置であつて、前記回折格子が刻線方向に垂直な位置で二つの部材に分割され、それぞれ異なる線膨張係数を持つ別の素材からなるスピンドルに保持されている変位測定装置。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源から出射する光束を透過光と回折光の2光束に分岐する回折格子と、前記回折格子の刻線方向と垂直な方向に、前記回折格子と一体に可動となるスピンドルと、前記2光束の一方の光路に配置し、光束の進行方向と垂直な断面平面内の領域間で所望の位相差が得られるように位相変調可能な液晶デバイスと、前記2光束をそれぞれ前記回折格子の入射点に再度入射させる反射鏡と、前記回折格子で再合成された2光束による干渉光を前記液晶デバイスの位相変調領域に対応して、複数の電気信号に変換する光電変換部材よりなり、前記光電変換部材からの複数の出力信号により前記回折格子の変位を計測する変位測定装置において、前記回折格子が刻線方向に垂直な位置で二つの部材に分割され、それぞれ異なる線膨張係数を持つ別の素材からなるスピンドルに保持されていることを特徴とする変位測定装置。
Fターム (11件)：
2F065AA09
, 2F065CC00
, 2F065CC10
, 2F065EE01
, 2F065FF48
, 2F065FF51
, 2F065HH12
, 2F065LL42
, 2F065LL53
, 2F065NN05
, 2F065NN08
