特許

J-GLOBAL ID：200903038610426940

連続イオンプレーティング装置

発明者： 白川 忠秀 ,  篠原 譲司
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 堀田 実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-299569
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143698
出願日： 1995年11月17日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 鋼板をシールライン(アース電位)から絶縁することなくアース(接地)した状態で、イオンプレーティングができる連続イオンプレーティング装置を提供する。【解決手段】 被処理材1をアース電位としルツボ15を+電位に印加するバイアス電源18を備え、これにより、ルツボから被処理材に向かう電界を形成する。また、被処理材1に対向してルツボ近傍に設けられたバイアス電極22と、被処理材をアース電位としバイアス電極を+電位に印加するバイアス電源18を備える。更に、成膜室16内に成膜室から絶縁され、かつルツボ15を囲むバイアス壁20を備え、バイアス壁20をバイアス電源18により+電位に印加する。

請求項（抜粋）：

連続的に走行する被処理材に材料を蒸着するための真空成膜室と、該成膜室内に設置され材料を収納するルツボと、ルツボ内の材料を蒸発させる蒸発装置と、蒸発した材料をイオン化させるイオン化装置と、を備えた連続イオンプレーティング装置において、被処理材をアース電位としルツボを+電位に印加するバイアス電源を備え、これにより、ルツボから被処理材に向かう電界を形成する、ことを特徴とする連続イオンプレーティング装置。

IPC (2件)：

C23C 14/32 ,  C23C 14/56

FI (2件)：

C23C 14/32 C ,  C23C 14/56 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-080267
  
• 特開昭64-025982
  
• 特開昭62-030315
  
• 特開平3-229861