特許
J-GLOBAL ID:200903038628909647

マイクロポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-143124
公開番号(公開出願番号):特開2001-322099
出願日: 2000年05月16日
公開日(公表日): 2001年11月20日
要約:
【要約】【課題】 簡単な構成で微少量の液体を正逆両方向に高精度に搬送すること。【解決手段】 マイクロポンプ100は、流路抵抗が差圧に応じて変化する第1流路115と、差圧の変化に対する流路抵抗の変化の割合が第1流路115よりも小さい第2流路117と、第1流路115および第2流路117に接続された加圧室109と、加圧室109の内部の圧力を変化させるための圧電素子107とを備える。加圧室109の内部の圧力を圧電素子107で変化させることにより、第1流路115の流路抵抗と第2流路117の流路抵抗との比を異ならせることができる。
請求項(抜粋):
流路抵抗が差圧に応じて変化する第1流路と、差圧の変化に対する流路抵抗の変化の割合が前記第1流路よりも小さい第2流路と、前記第1流路および前記第2流路に接続された加圧室と、前記加圧室の内部の圧力を変化させるためのアクチュエータとを備えた、マイクロポンプ。
IPC (4件):
B81B 3/00 ,  F04B 9/00 ,  F04B 53/16 ,  F04B 43/04
FI (5件):
B81B 3/00 ,  F04B 9/00 B ,  F04B 43/04 B ,  F04B 21/00 H ,  F04B 21/00 K
Fターム (24件):
3H071AA01 ,  3H071BB01 ,  3H071CC26 ,  3H071CC33 ,  3H071CC34 ,  3H071CC47 ,  3H071DD32 ,  3H071DD35 ,  3H071DD84 ,  3H075AA01 ,  3H075BB01 ,  3H075CC08 ,  3H075CC18 ,  3H075CC34 ,  3H075CC35 ,  3H075DA11 ,  3H075DB02 ,  3H077AA01 ,  3H077CC01 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE40 ,  3H077FF14 ,  3H077FF36

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