特許

J-GLOBAL ID：200903038638454486

固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法

発明者： 日置 辰視 ,  小栗 和幸
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-270380
公開番号（公開出願番号）：特開平5-078844
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 低摩擦係数および固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法を提供する。【構成】 珪素(Si)と、酸素(O)、炭素(C)および水素(H)とからなる固体薄膜であって、該薄膜の組成が、Six (Om ,Cn ,H1-m-n )1-x で、かつ、x=0.03〜0.20、m=0.05〜0.5、n=0.1〜0.9、0.6≦m+n≦0.95であることを特徴とする固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法。

請求項（抜粋）：

珪素(Si)と、酸素(O)、炭素(C)および水素(H)とからなる固体薄膜であって、該薄膜の組成が、Six (Om ,Cn ,H1-m-n )1-x で、かつ、x=0.03〜0.20、m=0.05〜0.5、n=0.1〜0.9、0.6≦m+n≦0.95であることを特徴とする固体潤滑性を有する非晶質薄膜。

IPC (3件)：

C23C 16/22 ,  C01B 33/12 ,  C23C 16/50