走査形顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145447
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330679
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は荷電粒子または光を検査する試料上に走査することで走査像を得る走査形顕微鏡に関係し、特に照射強度を任意に設定することが出来るようにした走査形顕微鏡に関係する。【解決手段】観察あるいは記録する走査像を複数回(N回)の二次元走査で形成し、二次元走査単位で照射荷電粒子または光をブランキングし、N回のうちの複数回(<N)を間引くことにより、平均の照射強度を調整する。【効果】照射荷電粒子または光をブランキングのみで、照射強度が調整できることから照射系の軸調整を行う必要がない。この結果、容易にかつ任意に時点で照射強度を変更することが可能になり、観察試料に対応した最適の照射強度を選択することができ、これまで問題となった試料の温度上昇,絶縁物試料でのチャージアップ,コンタミネーションの問題が解決できた。

請求項（抜粋）：

荷電粒子または光を試料上に走査し、該荷電粒子または光の照射により試料から二次的に発生する荷電粒子または光を検知することで、該試料の形状または組成の走査像を得る走査形顕微鏡において、2回以上の二次元走査像を積算して走査像として表示する機能を備え、且つ前記荷電粒子または光を二次元走査単位で遮断する機能を備えたことを特徴とする走査形顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 , H01J 37/147 , H01J 37/22 502

FI (3件)：

H01J 37/28 Z , H01J 37/147 B , H01J 37/22 502 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

特公昭48-014382
特開昭63-218803
特開昭62-024545

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審査官引用 (3件)

特公昭48-014382
特開昭63-218803
特開昭62-024545

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