特許
J-GLOBAL ID：200903038645417421
電子顕微鏡およびその分解能評価方法並びにそれを用いた半導体製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-028069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-224640
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】目視官能評価によらない走査形電子顕微鏡の性能評価を行い、走査形電子顕微鏡の経時変化や個体間の性能差を低減する。【解決手段】金蒸着試料を電子顕微鏡で撮像した画像データを取得後、周波数解析等の手段を用いて、電子顕微鏡の性能評価を安定かつ定量的に行う。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡の分解能および解像度の計測、調整のために微粒子を蒸着させた試料を1回または複数回撮像する手段と、前記撮像した画像を記憶する手段と、前記記憶された画像のデータを周波数解析等の手順を用いて解析する演算手段と、前記解析結果より分解能および解像度を定量評価する手段を有する電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/28 B
, H01L 21/66 J
