特許

J-GLOBAL ID：200903038646006492

プローブカード及びそれを用いたチップ領域ソート方法

発明者： 小口 朗
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-104959
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291750
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】探針の局所的な密集をある程度避つつ、なるべく多くのチップ同時測定数が取得できる、修理、メンテナンスも容易で高信頼性の多数個取りのプローブカード及びを用いたチップ領域ソート方法を提供する。【解決手段】プローブカードを構成する回路基材11は、図示しないテストヘッドに繋がるプローバに装着される。回路基材11において、対向させるウェハのチップ領域CHIPは破線で示す。回路基材11の開口部12は千鳥格子状にあり、チップ領域CHIPのうち互いに斜め隣りのチップ領域に対応して設けられる。つまり開口部12は、X方向及びY方向に隣接のチップ領域分は離間している。各開口部12の周縁部からチップ領域のパッド部に相当する位置に複数の探針13が伸びる。開口部12間に延在するように基準電位層14が配備される。

請求項（抜粋）：

ウェハ上の複数のチップ領域に対向させ信号の授受を担う回路基材であって、前記回路基材において前記チップ領域のうち互いに斜め隣りのチップ領域に対応して設けられた千鳥格子状の複数の開口部と、前記開口部それぞれに関し、その周縁部からそれぞれ前記チップ領域の所定部に相当する位置まで伸びる複数の探針とを具備し、前記回路基材と対向する前記ウェハ上の所定領域とを接近させることによって前記複数の開口部における探針それぞれの先端部が対応する前記複数のチップ領域の所定部に接触されるようにしたことを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

Fターム (21件)：

2G011AA16 ,  2G011AC06 ,  2G011AE03 ,  2G032AB01 ,  2G032AD01 ,  2G032AE04 ,  2G032AE08 ,  2G032AE11 ,  2G032AE14 ,  2G032AF02 ,  2G032AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106AD01 ,  4M106AD21 ,  4M106AD23 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD13 ,  4M106DD18 ,  4M106DJ18