特許
J-GLOBAL ID：200903038651161960
荷電粒子ビーム装置における自動焦点補正方法および自動非点補正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-207076
公開番号（公開出願番号）：特開2005-063678
出願日： 2003年08月11日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】非点が補正されていない像でも、最小錯乱円位置となる対物レンズ励磁量を求めることが可能な、精度の高い自動焦点補正および自動非点補正を行うことが可能な荷電粒子ビーム装置における自動焦点補正方法および自動非点補正方法を実現する。【解決手段】元画像51に対して、X方向に平行なフィルタによるX側エッジ成分抽出処理52と、画面のY方向に平行なフィルタによるY側エッジ成分抽出処理53との2つの処理を別々に行ない、それぞれにノイズ低減フィルタ適用や、数値規格化などの処理を行なうことにより、X方向、Y方向のエッジ成分を表す2次元数値行列54と55とを独立に求め、この2種の行列のそれぞれの総和を元画像I1におけるX側とY側それぞれの焦点評価量56,57とする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
一次荷電粒子ビームを試料上に集束すると共に、試料上の所定領域でビームを2次元的に走査し、試料上の走査によって得られた信号を検出し、ビームの走査に同期して検出信号に基づき試料像を表示するようにした走査型荷電粒子ビーム装置において、荷電粒子ビームを試料上に収束させるためのレンズの強度をステップ状に変化させることにより、試料上のビームのフォーカスの状態をステップ状に変化させ、各フォーカスのステップごとに試料上の特定領域をビームによって走査し、ビーム走査に基づいて得られた検出信号により画像データを得、画像データを画像処理して焦点評価量を求め、レンズ強度と焦点評価量の関係から合焦点位置を求め、ビームを収束するレンズの強度をこの合焦点位置に対応したレンズ強度に設定するようにした自動焦点補正方法であって、前記画像データを画像処理して焦点評価量を求める際、1枚の画像を任意の第1の方向と第2の方向の2つの独立な方向ごとに画像処理し、各フォーカスのステップごとに求められた焦点評価量に基づいて、第1と第2の方向の合焦点位置であるレンズ強度をそれぞれ求め、その中点を合焦点位置としてビームを収束するレンズの強度を設定するようにした荷電粒子ビーム装置における自動焦点補正方法。
IPC (5件)：
H01J37/21
, G03F7/207
, H01J37/153
, H01J37/22
, H01L21/027
H01J37/21 B
, G03F7/207 H
, H01J37/153 B
, H01J37/22 502H
, H01L21/30 541F
5C033JJ01
, 5C033LL03
, 5F056BA05
, 5F056BA06
, 5F056BB01
, 5F056BC08
, 5F056EA05
