特許
J-GLOBAL ID：200903038660234775
低温硬化型感光性ポリイミド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-307557
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160619
出願日： 1994年12月12日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【構成】 一般式(I)に示すポリイミド繰り返し構成単位中にベンゾフェノンテトラカルボン酸を含み、ビスマレイミド末端を有することを必須とするネガ型感光性ポリイミドを用いて支持体上に感光性ポリイミド塗膜を形成させる。【化1】【効果】 本発明における薄膜から厚膜まで使用可能なネガ型感光性ポリイミド皮膜は低温硬化可能で、感度、現像性、解像度の優れた、感光性の高いポリイミド皮膜を形成することができる。
請求項（抜粋）：
次の一般式(I)で示されるポリイミドを有効成分として含有することを特徴とする低温硬化型感光材料。【化1】
IPC (3件)：
G03F 7/038 504
, C08G 73/10 NTF
, C08G 73/12 NTH
