特許

J-GLOBAL ID：200903038664497240

磁気ヘッドの製造方法

発明者： 豊田 篤志 ,  伊藤 勝実
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (1件)： 長谷 照一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-220657
公開番号（公開出願番号）：特開平11-110934
出願日： 1998年08月04日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 ABSに所定のクラウン形状およびキャンバー形状を容易に形成できるスライダーを歩留まりよく得られるようにする。【解決手段】 磁気ヘッド素子21a,21b,21cが形成されたロー21を、短冊状のワーク70上に載置し、ABS上にイオンミリング用レジストフィルム71を貼着する。このレジストフィルム71に所定のレール形状のパターンが形成されたフォトマスク72を載置して紫外線を照射し、所定のレール形状のパターンに感光させた後、感光された部分71a,71b,71c,71d,71e,71f以外の部分を現像液に溶解させて除去する。このロー21のABS上にアルゴンイオンAr+を照射してイオンミリングを行った後、噴射装置74より硬質無機化合物の微粒子を分散させた分散液75をロー21のABSに向けて高速で噴射して、微粒子が衝突した部位圧縮応力を作用させる。

請求項（抜粋）：

記録媒体が回転することにより同記録媒体との対向面が同記録媒体に対して浮上する磁気ヘッドの製造方法であって、複数の薄膜磁気ヘッド素子が形成された素子列を所定のスロートハイトになるように研磨する研磨工程と、前記研磨工程により研磨された素子列のABSを所定のレール形状とするためにフォトエッチングするフォトエッチング工程と、前記フォトエッチング工程により所定のレール形状に形成されたABSに研磨材を高速で噴射して同ABSのレール形状以外の部位の表面層に圧縮応力を発生させる硬化処理工程とを備え、前記硬化処理工程により発生した圧縮応力により前記ABSを所定の湾曲形状となるように形成したことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

G11B 21/21 101 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/60

FI (3件)：

G11B 21/21 101 L ,  G11B 5/31 Z ,  G11B 5/60 Y