特許
J-GLOBAL ID：200903038679509562
塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102786
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293653
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 待機中の塗布ヘッドを作動させる場合に、塗布液を無駄にせずに所定厚を有する適正な塗布膜の形成を可能とする。【解決手段】 スリット状の供給口24を有する塗布ヘッド20と基板Wとを相対移動させながら供給口24から塗布液を供給することにより基板W上に塗布膜を形成する塗布装置において、溶剤供給手段80により溶剤を供給したヘッドクリーナ60の拭き取り部材66を塗布ヘッド20の供給口24と封止部材50の封止部51とに接触させながら移動させ、塗布ヘッド20の供給口24と封止部材50の封止部51に存在している半固化状態や固化状態の塗布液を溶剤で溶解させると共に、拭き取り部材66で拭き取ることにより供給口24からの塗布液の正常な供給を可能とする。
請求項（抜粋）：
基板の表面に塗布膜を形成する塗布装置であって、基板を保持する基板保持手段と、基板に塗布液を供給するためのスリット状の供給口を有する塗布液供給手段と、 基板の表面と前記供給口とが相対的に移動するように、前記基板保持手段と前記塗布液供給手段とを相対的に移動させる第1の移動手段と、前記供給口と接触可能であり、かつ前記供給口を清掃するための長尺状の部材、前記長尺状の部材を巻装した供給ローラ、および前記供給ローラから前記長尺状の部材を引き出す巻き取りローラを有する清掃手段と、前記供給口と前記長尺状の部材とを接触させつつ、前記塗布液供給手段と前記清掃手段とを相対的に移動させる第2の移動手段と、前記長尺状の部材に溶剤を供給する溶剤供給手段と、を備えたことを特徴とする塗布装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/16 501
H01L 21/30 564 C
, G03F 7/16 501
