特許

J-GLOBAL ID：200903038682029253

X線多層膜反射鏡

発明者： 村上 勝彦 ,  押野 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-037899
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232298
出願日： 1992年02月25日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 反射率を低下させずに、多層膜反射鏡の耐熱性を向上させる。【構成】 使用するX線の波長域で屈折率の異なる物質からなる2つの層A、Bを交互に積層してなるX線多層膜反射鏡において、少なくとも一方の層Bがその中心部(B-2)と他方の層との界面部(B-1)とで物質の組成が異なり、また該中心部と界面部との間で前記組成が徐々に変化するようにした。

請求項（抜粋）：

使用するX線の波長域で屈折率の異なる物質からなる2つの層を交互に積層してなるX線多層膜反射鏡において、少なくとも一方の層がその中心部と他方の層との界面部とで物質の組成が異なり、また該中心部と界面部との間で前記組成が徐々に変化していることを特徴とするX線多層膜反射鏡。