特許

J-GLOBAL ID：200903038686312227

原子的分解能を持った微細位置決め装置

発明者： ビニング、ゲルド、ケー. ,  ハーベール、ウォルター ,  ローレル、ハインリッヒ ,  スミス、ダグラス、ピー,.イー.
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-508428
公開番号（公開出願番号）：特表平10-507541
出願日： 1994年08月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】誘導性アクチュエータ(2、3)を含む微細位置決め装置が提供される。既知の誘導性アクチュエータにより与えられる1ミクロンの位置決め精度に比べて十分に低い1nmの位置決め精度が得られる。好適な実施例では、その磁気アクチュエータの運動は機械的手段(5、6、35)によって制動され又は減少させられ、従って、そのアクチュエータを動かすために必要な電流の量を増加させる。この微細位置決め装置は走査型プローブ顕微鏡の分野においても使用可能である。

請求項（抜粋）：

磁気アクチュエータ手段(2、3)によって、プローブ手段及びサンプル保持手段の相対的位置を原子的分解能をもって、望ましくは、100nm乃至0.01nmの分解能をもって変更するための微細位置決め装置にして、前記アクチュエータの運動範囲を制限するための手段(5、6、35)を含む微細位置決め装置。

IPC (6件)：

G05D 3/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00 ,  G11B 21/02 601 ,  H02K 33/18

FI (6件)：

G05D 3/00 B ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00 A ,  G11B 21/02 601 G ,  H02K 33/18 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-073007
  
• 特開平2-298908