特許

J-GLOBAL ID：200903038686723863

吸着冶具

発明者： 穂満 正博 ,  能戸 敦志
出願人/特許権者： 株式会社妙徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-111053
公開番号（公開出願番号）：特開2004-314233
出願日： 2003年04月16日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】薄い被吸着体を吸引・吸着しても負圧で吸い込まれず、被吸着体のタワミや、歪み、破壊を防止した吸着冶具を提供する。【解決手段】負圧を導く吸引パイプ3、吸引パイプに連通し被吸着体を吸着する気孔を有する吸着面体4よりなり、気孔の径を1ミクロン〜1mmとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなることを特徴とする吸着冶具。

IPC (4件)：

B25J15/06 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68

FI (4件)：

B25J15/06 G ,  B65G49/06 A ,  B65G49/07 G ,  H01L21/68 B

Fターム (13件)：

3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007NS10 ,  3C007NS12 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA32

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フィルム状部品用吸着ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-125246   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所