特許

J-GLOBAL ID：200903038689658744

回折光学装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 竹内 誠二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-331962
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147232
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 反射型の回折光学素子を用いたときの該回折光学素子の変形による光学特性の変化を補正した回折光学装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【解決手段】 反射型の回折光学素子と形状変化手段を有し、該形状変化手段により該反射型の回折光学素子の形状を変えること。

請求項（抜粋）：

反射型の回折光学素子と形状変化手段を有し、該形状変化手段により該反射型の回折光学素子の形状を変えることを特徴とする回折光学装置。

IPC (4件)：

G02B 5/18 ,  G02B 3/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 5/18 ,  G02B 3/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (6件)：

2H049AA06 ,  2H049AA12 ,  2H049AA14 ,  2H049AA55 ,  2H049AA68 ,  5F046DA12