特許
J-GLOBAL ID：200903038692897555
反射型マスクブランク及び反射型マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-071945
公開番号（公開出願番号）：特開2009-229554
出願日： 2008年03月19日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】少なくとも基板と、露光光を反射する多層反射膜と、露光光を吸収する吸収体と、を有し、吸収体の膜厚を薄くし、露光時にパターン周辺部の解像度低下や位置ずれを防止するとともに、検査光に対するコントラストを向上させた反射型マスクブランク及び反射型マスクを提供する。【解決手段】吸収体が3層以上の層数で構成され、第2の層205が第1の層206と第3の層204に挟まれる構造を有し、第2の層が有する露光光に対する消衰係数の値が、第1の層が有する露光光に対する消衰係数の値と等しいかまたは小さく且つ第3の層が有する露光光に対する消衰係数の値よりも小さく、且つ、第1の層が有する露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値が、第2の層が有する露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値よりも小さいことを特徴とする反射型マスクブランク及び反射型マスク。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
少なくとも基板と、露光光を反射する多層反射膜と、露光光を吸収する吸収体と、を有する反射型マスクブランクであって、該吸収体が少なくとも露光光側から第1の層及び第2の層及び第3の層を含む3層以上の層数で構成され、該第2の層が該第1の層と該第3の層に挟まれる構造を有し、該第2の層が有する露光光に対する消衰係数の値が、該第1の層が有する露光光に対する消衰係数の値と等しいかまたは小さく且つ該第3の層が有する露光光に対する消衰係数の値よりも小さく、且つ、第1の層が有する露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値が、第2の層が有する露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値よりも小さいことを特徴とする反射型マスクブランク。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/16 A
, H01L21/30 531M
2H095BA01
, 2H095BA02
, 2H095BA10
, 2H095BC05
, 2H095BC11
, 2H095BD01
, 5F046GD01
, 5F046GD07
, 5F046GD11
