特許
J-GLOBAL ID:200903038706521502

電子ビーム照射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-312166
公開番号(公開出願番号):特開平5-209215
出願日: 1992年11月20日
公開日(公表日): 1993年08月20日
要約:
【要約】【構成】 複数の電子銃により、走行する金属ストリップの幅方向に連続して電子ビーム走査を行う電子ビーム照射装置において、該金属ストリップの幅を等分する走査幅に設定した複数の電子銃を、該金属ストリップの長手方向を斜めに横切る斜線上に配設する。【効果】 高精度の特殊な制御を必要とせず、また金属ストリップの蛇行の影響が極めて少なく、さらには設備コストやランニングコストも低減できる。
請求項(抜粋):
複数の電子銃により、走行する金属ストリップの幅方向に連続して電子ビーム走査を行う電子ビーム照射装置であって、該金属ストリップの幅を等分する走査幅に設定した複数の電子銃を、該金属ストリップの長手方向を斜めに横切る斜線上に配設したことを特徴とする電子ビーム照射装置。

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