特許
J-GLOBAL ID：200903038710251129
パターン欠陥自動修正装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-228649
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086722
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】操作者による操作時間のバラツキをなくし、製造工程を安定化させることのできるパターン欠陥自動修正装置を提供すること。【構成】修正対象物を搭載するテーブル4と、修正対象物の所望の部分を映し出すための画像検出機構2と、画像検出機構が映し出した検出画像と基準パターンから得た基準画像とを比較判定するためのパターン比較回路10と、パターン比較回路からの情報に基づいて、パターン修正器具を選択し、欠陥修正を行うためのパターン修正機構1と、テーブルを移動させるためのX軸駆動部14、Y軸駆動部15、Z軸駆動部16とにより構成されるパターン欠陥自動修正装置。
請求項（抜粋）：
修正対象物を搭載するテーブル、修正対象物の所望の部分を映し出すための画像検出機構、画像検出機構が映し出した検出画像と基準パターンから得た基準画像とを比較判定するためのパターン比較回路、パターン比較回路からの情報に基づいて、パターン修正器具を選択し、欠陥修正を行うためのパターン修正機構並びにパターン比較回路及びパターン修正機構とテーブルとの相対的な位置を移動させるための駆動部を有することを特徴とするパターン欠陥自動修正装置。
IPC (2件)：
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