特許
J-GLOBAL ID:200903038715896055
観測装置、観測方法、ファラデー回転角測定方法、ファラデー楕円率測定方法、カー回転角測定方法及びカー楕円率測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
立石 琢也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-229373
公開番号(公開出願番号):特開2007-046943
出願日: 2005年08月08日
公開日(公表日): 2007年02月22日
要約:
【課題】 高速測定が可能な観測装置、観測方法等を提供する。【解決手段】 本発明の第1の側面は、液晶変調素子によって、右回り円偏光及び左回り円偏光が選択的に作り出されるように前記液晶変調素子が制御され、偏光子を通過する光によって試料を観測することを特徴とする観測装置にある。また、本発明の他の側面は、偏光子及び液晶変調素子を順に通過するように光の光路が設定された状態で、前記偏光子を通過する光によって試料を観測する際に、前記液晶変調素子によって、右回り円偏光及び左回り円偏光が選択的に作り出されるように前記液晶変調素子を制御する工程と、前記液晶変調素子によって作り出される右回り円偏光状態及び左回り円偏光状態に対応した、前記試料の光学データをそれぞれ生成する工程とを有することを特徴とする観測方法にある。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
偏光子と、
液晶変調素子と
を備え、
前記偏光子及び前記液晶変調素子を順に通過するように光の光路が設定され、
前記液晶変調素子によって、右回り円偏光及び左回り円偏光が選択的に作り出されるように前記液晶変調素子が制御され、
前記偏光子を通過する光によって試料を観測することを特徴とする観測装置。
IPC (3件):
G01N 21/21
, G01J 4/04
, G01N 21/19
FI (4件):
G01N21/21 Z
, G01J4/04 D
, G01J4/04 Z
, G01N21/19
Fターム (18件):
2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE05
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059GG10
, 2G059JJ02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059KK01
, 2G059KK02
, 2G059KK04
, 2G059MM09
, 2G059PP04
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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引用文献:
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